計測機器を支えるMEMSデバイス

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

解説

計測機器を支えるMEMSデバイス

—光スキャナと各種先進カンチレバー—

北澤正志

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キーワード: MEMS-scanner, laser scanning microscopy, atomic force microscopy, micro cantilever, carbon nano fiber

ジャーナルフリー

2010 年 76 巻 5 号 p. 510-513

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.510

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