表面科学
Online ISSN : 1881-4743
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分野別記念解説
Si-SiO2系の形成・構造・物性
服部 健雄廣瀬 和之
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2010 年 31 巻 1 号 p. 30-34

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抄録

This article summarizes recent progress and current scientific understanding of atomic and/or electronic structures of ultrathin SiO2 films and/or its interface with Si substrates in addition to the review of scientific achievements done in the past 30 years.

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