オージェ電子分光法 (AES) は走査型電子顕微鏡と組み合わせた走査型オージェ電子顕微鏡 (SAM) の登場でその頂点に達した。以後は, その使い易さ, 高性能化の歴史である。AESは膜成長の様子, ガス吸着の様子をモニターするのに使われてきた。さらに, 定量化AES法は固体表面の組成分析に使用されている。