従来からの表面処理といえば金属の表面に美観を与えたり, 耐食性あるいは耐摩耗性を付与することであった。最近はこれらの処理よりもっと高度な機能をもった薄膜を固体の表面に作製する方法として, 種々の機能性表面処理技術が開発されてきている。例えばLCDやECDなど表示材料の表面処理, あるいは高密度磁気記録媒体の薄膜作製法などである。ここではこれらの表面処理を乾式法と湿式法とに分けて概説した。