走査型トンネル顕微鏡 (STM) を用いたナノメーターレベルでの固体表面の超微細加工について紹介した。STMによる超微細表面加工の手法を, 1) 機械的加工, 2) 電気的加工, 3) 熱的加工, 4) 化学的加工, 5) 液体中での加工の5つに分類し, 各々の原理を解説した。また各手法による超微細表面加工の例を示し, 作成された構造の大きさや密度を比較した。