AES/XPSによる薄膜構造の評価技術
1990 年 11 巻 7 号 p. 418-425
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1990 年 11 巻 7 号 p. 418-425
最近のAES, XPSによる表面の分析評価技術の進歩は著しく, 得られる情報の信頼度も高い。一方, これらの表面分析技術は薄膜を評価する目的で, スパッタイオン銃と組み合わせて, 元素の深さ方向分析法として一般的に利用され, 膜厚や界面における情報が得られる。しかし, イオンと試料表面における相互作用は複雑で得られる情報の信頼度は表面を評価する場合ほどは高くない。
最近, 深さ方向分析の信頼性を向上する目的でいくつかの改善が試みられている。ここではそのような例を紹介する。
