マイクロ電子ビームを用いた新しい型の表面解析装置について紹介する。～100Åのマイクロ電子ビームで固体表面をプローブし,ミクロ領域より励起されるオージェ電子の回折パターンを測定する技法(マイクロプローブ・オージェ電子回折:μ-AED)を開発し,それをSi(111)4×1-In表面の構造解析に適用した例について紹介する。また,超高真空走査電子顕微鏡としての適用例として,Si(111)4×1-In表面上のInの電気移動の研究について紹介する。