筑波大学物理工学系
1992 年 13 巻 1 号 p. 41-47
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最近の技術進歩によって新しいタイプのX線結像素子の製作が可能になった。それらの素子を使った結像型と走査型のX線顕微鏡の開発が進んでいる。表面科学への応用はこれまで少なかったが, 光電子の利用によって表面分析への利用が始まった。結像型および走査型光電子顕微鏡の開発が活発に進められている。
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