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- Volume 13 (1992) Issue 8
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A Process of the Development of Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
Hifumi TAMURA
Author information
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Hifumi TAMURA
Application Technology Dept. Techno Research Laboratory Hitachi Instruments Engineering Co., Ltd.
JOURNAL
FREE ACCESS
1992 Volume 13 Issue 8 Pages 483-490
Details
- Published: October 10, 1992 Received: July 08, 1992 Available on J-STAGE: August 07, 2009 Accepted: July 08, 1992 Advance online publication: - Revised: -
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Correction information
Date of correction: August 07, 2009 Reason for correction: - Correction: CITATION Details: Wrong : 1) F. L. Arnot and J. C. Milligon : Proc. Roy, Sac. A 156, 538 (1936).
2) F. L. Arnot and C. Beckett : Proc. Roy, Soc. A 168, 103 (1938).
3) R. H. Sloane and R. Press : Proc. Roy, Soc. A 168, 284 (1938).
4) R. F. K. Herzog and F. P. Viehbock . Phys. Rev. 76, 855 (1949).
5) R. C. Bradley : J. Appl. Phys. 30, 1 (1959).
6) H. E. Stanton : J. Appl. Phys. 31, 678 (1960).
7) W. T. Leland and R. Olson : Los Alamos Rep. LA, 2344 (1960).
8) V. I. Veksler : Soy. Phys. JETP 11, 235 (1960).
9) R. C. Bradley: Phys. Rev. 117, 1204 (1960).
10) V. E. Krohn, Jr.: J. Appl. Phys. 33, 3523 (1962).
11) R. C. Bradley and E. Ruedl : J. Appl Phys. 33, 880 (1962).
12) F. A. White, J. C. Sheffield and F. M. Rourke : J. Appl. Phys. 33, 2915 (1962).
13) H. E. Beske : Z. Angew. Phys. 14, 30 (1962).
14) E. Ruedl and R. C. Bradley: J. Phys. Chem. Solids. 23, 885 (1962).
15) V. Walther and H. Hintenberger : Z. Naturforsch. 18 A, 843 (1963).
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18) J. A. McHugh and J. C. Sheffield : J. Appl. Phys. 35, 512 (1964).
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20) R. Castaing and G. Slodzian : J Microsc. 1, 395 (1962).
21) G. Slodzian : Ann. Phys. 9, 591 (1964).
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23) H. J. Liebl and R. F. K. Herzog : J. Appl. Phys. 34, 2893 (1963).
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25) R. Castaing and G. Slodzian : J. Microsc. 1, 395 (1962).
26) R. Castaing and G. Slodzian : C. R. Acad. Sci. (Paris) 255, 1893 (1962).
27) H. Liebl : J. Appl. Phys. 38, 5277 (1967).
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Right : 1) F. L. Arnot and J. C. Milligon : Proc. Roy, Sac. A 156, 538 (1936).
2) F. L. Arnot and C. Beckett : Proc. Roy, Soc. A 168, 103 (1938).
3) R. H. Sloane and R. Press : Proc. Roy, Soc. A 168, 284 (1938).
4) R. F. K. Herzog and F. P. Viehbock . Phys. Rev. 76, 855 (1949).
5) R. C. Bradley : J. Appl. Phys. 30, 1 (1959).
6) H. E. Stanton : J. Appl. Phys. 31, 678 (1960).
7) W. T. Leland and R. Olson : Los Alamos Rep. LA, 2344 (1960).
8) V. I. Veksler : Soy. Phys. JETP 11, 235 (1960).
9) R. C. Bradley: Phys. Rev. 117, 1204 (1960).
10) V. E. Krohn, Jr.: J. Appl. Phys. 33, 3523 (1962).
11) R. C. Bradley and E. Ruedl : J. Appl Phys. 33, 880 (1962).
12) F. A. White, J. C. Sheffield and F. M. Rourke : J. Appl. Phys. 33, 2915 (1962).
13) H. E. Beske : Z. Angew. Phys. 14, 30 (1962).
14) E. Ruedl and R. C. Bradley: J. Phys. Chem. Solids. 23, 885 (1962).
15) V. Walther and H. Hintenberger : Z. Naturforsch. 18 A, 843 (1963).
16) A. J. Smith, L. A. Combey and D. J. Mershall : J. Appl. Phys. 34, 2489 (1963).
17) A. Benninghoven : Ann, Physik 15, 113 (1965).
18) J. A. McHugh and J. C. Sheffield : J. Appl. Phys. 35, 512 (1964).
19) R. Castaing, B. Jouffrey and G. Slodzian : C. R. Acad. Sci. 251, 1010 (1960).
20) R. Castaing and G. Slodzian : J Microsc. 1, 395 (1962).
21) G. Slodzian : Ann. Phys. 9, 591 (1964).
22) H. J. Liebl and R. F. K. Herzog : Twelfth Annual Conf. on Mass Spectrometry and Allied Topics, p. 393, Montreal, Canada, June, 7 (1964).
23) H. J. Liebl and R. F. K. Herzog : J. Appl. Phys. 34, 2893 (1963).
24) H. Liebl : J. Appl. Phys. 38, 5277 (1967).
25) R. Castaing and G. Slodzian : J. Microsc. 1, 395 (1962).
26) R. Castaing and G. Slodzian : C. R. Acad. Sci. (Paris) 255, 1893 (1962).
27) H. Liebl : J. Appl. Phys. 38, 5277 (1967).
28) J. M. Rouberol, J. Guernet, P. Dechamps, J. P. Dagnot and J. M. Guyon : de la Berge, in Proc. 5 th Intern. Conf. X- Ray Optics and Microanalysis, Tubingen, 1968 (Springer, Berlin, 1969), p. 311.
29) H. Tamura, T. Kondo, H. Doi, I. Omura and S. Taya : in Recent Development in Mass Spectroscopy (Univesity Park, Baltmore, 1970), p. 205.
30) F. G. Rüdenauer and W. Steiger : Proc 6 th Intern. Vacuum Cong 1974, in Japan J. Appl. Phys. Suppl. 2, 383 (1974).
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32) K. Wittmaack : “Advances in Mass Spectrometry” 7 A (Heyden & Sons, London, 1978) p. 758.
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42) H. Tamura, Y. Ikebe, H. Toita and H. Shichi : Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS Vll, 903 (1989).
43) H. Tamura, T. Kondo, I. Kanomata and Y. Nakaj ima : Japan J. Appl. Phys. Suppl. 2, pt. 1 (1974).
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47) J. V. P. Long : Brit. J. Appl. Phys. 16, 1277 (1965).
48) I. Drummond and J. V. P. Long: Nature 215, 950 (1967).
49) I. Drummond : Ph. D, thesis, University of Cambridge, U. K. 1968.
51) P. O. Prewett and D. K. Jefferies : Int. Phys. Conf. Ser. No. 54, 316 (1980).
52) R. Levi-Setti, Y. L. Wang and G. Grow: J. Phys. C 9, 197 (1984).
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54) E. Izumi, Y. Kato, M. Yano, Y. Arima and H. Tamura : Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS IV, 141 (1984).
56) C. A. Andersen and J. R. Hinthorne : Anal. Chem. 45, 1421 (1973).
57) T. Ishitani, N. Sakudo, H. Tamura and I. Kanomata : Phys. Lett. 67 A, 375 (1978).
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