Magnetic Force Microscopy and Its Application to High-density Recording

Toshifumi OHKUBO; Junichi KISHIGAMI; Keiichi YANAGISAWA; Reizo KANEKO

doi:10.1380/jsssj.13.9_518

磁気力顕微鏡(MFM)とその高密度記録への応用

大久保俊文, 岸上順一, 柳沢佳一, 金子礼三

著者情報

ジャーナルフリー

1992 年 13 巻 9 号 p. 518-524

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.13.9_518

詳細

発行日: 1992/11/10 受付日: 1992/07/03 J-STAGE公開日: 2009/08/07 受理日: 1992/07/03 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/08/07 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: Wrong : 1) G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber and E. Weibel : Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).
2) D. M. Eiglar and E. K. Schweizer : Nature 344, 524 (1990).
3) G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber : Phys. Rev. Lett. 59, 930 (1986).
4) Y. Martin, C. C. Williams and H. K. Wickramasinghe : J. Appl. Phys. 61 (10), 4723 (1987).
5) Y. Martin and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 50 (20), 1455 (1987).
6) Y. Martin, D. Rugar and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 52 (13), 244 (1988).
7) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, B. D. Terris and S. E. Lambert : Appl. Phys. Lett. 53 (16), 1563 (1988).
8) D. W. Abraham, C. C. Williams and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 53 (15), 1446 (1988).
9) J. Moreland and P. Rice : Appl. Phys. Lett. 57 (16), 310 (1990).
10) O. Watanuki, Y. Sonobe, S. Tsuji and F. Sai : IEEE Trans. on Mag. 27 (6), 5289 (1991).
11) R. C. Barrett and C. F. Quate : J. Appl. Phys. 70 (5), 2725 (1991).
12) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : IEEE Trans. on Mag. 27, 5286 (1991).
14) P. Grütter, A. Wadas, E. Meyer, H. Heinzelmann, H.-R. Hidber and H.-J. Guntherodt : J. Vac. Sci. Technol. A 8 (1), 406 (1990).
15) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : Proc. Perpendicular Magnetic Recording Conference '91 15 (S 2), 469 (1991).
16) T. R. Albrecht, S. Akamine, T. E. Carver and C. F. Quate : J. Vac. Sci. Technol. A 8 (4), 3386 (1990).
17) P. Grütter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo,. S. E. Lambert, C. -J. Lin, R. M. Valletta, 0.Wolter, T. Bayer and J. Greschner : AppL Phys. Lett. 57 (17), 1820 (1990).
18) D. Rugar, H. J. Mamin, P. Guethner, S. E. Lambert, J. E. Stern, I. McFadyen and T.Yogi : J. Appl. Phys. 68 (3), 1169 (1990).
19) A. J. Den Boef : Appl. Phys. Lett. 56 (20), 2045 (1990).
20) K. Yanagisawa, A. Tago, T. Ohkubo and H. Kuwano : Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 120 (1991).
21) H. W, van Kesteren, A. J. den Boef, W. B. Zeper, J. H. M. Spruit, B. A. J. Jacobs and P. F. Carcia : J. Appl. Phys. 70 (4), 2413 (1991).
23) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, R. E. Fontana, Jr. and P. Kasiraj : Appl. Phys. Lett. 55 (3), 318 (1989).
24) P. C. D. Hobbs, D. W. Abraham and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 55 (22), 2357 (1989).
25) C. Schönenberger and S. F. Alvarado : Z. Phys. B Condensed Matter 80, 373 (1990).
26) Y. Nakamura : Proc. Perpendicular Magnetic Recording Conference '91 15 (S 2), 497 (1991).

Right : 1) G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber and E. Weibel : Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).
2) D. M. Eiglar and E. K. Schweizer : Nature 344, 524 (1990).
3) G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber : Phys. Rev. Lett. 59, 930 (1986).
4) Y. Martin, C. C. Williams and H. K. Wickramasinghe : J. Appl. Phys. 61 (10), 4723 (1987).
5) Y. Martin and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 50 (20), 1455 (1987).
6) Y. Martin, D. Rugar and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 52 (13), 244 (1988).
7) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, B. D. Terris and S. E. Lambert : Appl. Phys. Lett. 53 (16), 1563 (1988).
8) D. W. Abraham, C. C. Williams and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 53 (15), 1446 (1988).
9) J. Moreland and P. Rice : Appl. Phys. Lett. 57 (16), 310 (1990).
10) O. Watanuki, Y. Sonobe, S. Tsuji and F. Sai : IEEE Trans. on Mag. 27 (6), 5289 (1991).
11) R. C. Barrett and C. F. Quate : J. Appl. Phys. 70 (5), 2725 (1991).
12) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : IEEE Trans. on Mag. 27, 5286 (1991).
14) P. Grütter, A. Wadas, E. Meyer, H. Heinzelmann, H.-R. Hidber and H.-J. Guntherodt : J. Vac. Sci. Technol. A 8 (1), 406 (1990).
15) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : Proc. Perpendicular Magnetic Recording Conference '91 15 (S 2), 469 (1991).
16) T. R. Albrecht, S. Akamine, T. E. Carver and C. F. Quate : J. Vac. Sci. Technol. A 8 (4), 3386 (1990).
17) P. Grütter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo,. S. E. Lambert, C. -J. Lin, R. M. Valletta, 0.Wolter, T. Bayer and J. Greschner : AppL Phys. Lett. 57 (17), 1820 (1990).
18) D. Rugar, H. J. Mamin, P. Guethner, S. E. Lambert, J. E. Stern, I. McFadyen and T.Yogi : J. Appl. Phys. 68 (3), 1169 (1990).
19) A. J. Den Boef : Appl. Phys. Lett. 56 (20), 2045 (1990).
20) K. Yanagisawa, A. Tago, T. Ohkubo and H. Kuwano : Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 120 (1991).
21) H. W, van Kesteren, A. J. den Boef, W. B. Zeper, J. H. M. Spruit, B. A. J. Jacobs and P. F. Carcia : J. Appl. Phys. 70 (4), 2413 (1991).
23) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, R. E. Fontana, Jr. and P. Kasiraj : Appl. Phys. Lett. 55 (3), 318 (1989).
24) P. C. D. Hobbs, D. W. Abraham and H. K. Wickramasinghe : Appl. Phys. Lett. 55 (22), 2357 (1989).
25) C. Schönenberger and S. F. Alvarado : Z. Phys. B Condensed Matter 80, 373 (1990).
26) Y. Nakamura : Proc. Perpendicular Magnetic Recording Conference '91 15 (S 2), 497 (1991).

抄録

走査型トンネル顕微鏡を基礎として,さまざまな物理量を画像化できる走査型プローブ顕微鏡(SPM)技術が進展している。本稿では,SPM ファミリのひとつとしてサンプルの磁化状態を大気中で非接触,非破壊のまま測定できる磁気力顕微鏡(MFM)について,その測定原理を中心に概説するとともに,これを用いた測定例を紹介する。さらに MFM を評価・分析装置としてのみならず,積極的にサンプルに働きかける磁気的なマニピュレータとの考えから,これを高密度記録に応用するための基礎検討の経過と最近の結果についても言及する。

責任著者(Corresponding author)

訂正情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）