中高エネルギーのイオンを用いたラザフォード後方散乱分光法(RBS)は表面領域の分析に広く利用されている。最近,高分解能のエネルギー分析器を用いて,表面の1原子層ごとの散乱を分離して観測した例が,相次いで報告された。この高分解能RBSは,原子層ごとの組成分析や表面原子構造の解析をはじめ,表面研究に広く応用することができる。ここでは,まず高分解能RBSによって,モノレイヤーアナリシスが可能になるための条件を検討した後,報告された例を紹介する。