Metal Film Growth on Si Crystals with Medium Energy Ion Scattering

Takanori KOSHIKAWA; Tsuneo YASUE

doi:10.1380/jsssj.14.391

中エネルギーイオン散乱法によるSi上の金属薄膜成長

越川孝範, 安江常夫

著者情報

ジャーナルフリー

1993 年 14 巻 7 号 p. 391-396

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.14.391

詳細

発行日: 1993/09/10 受付日: 1993/03/29 J-STAGE公開日: 2009/08/07 受理日: 1993/03/29 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/08/07 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: Wrong : 1) W. K. Chu, J. W. Mayer and M. A. Nicolet : “Backscattering Spectroscopy” (Academic Press, New York, 1978).
2) L. C. Feldman, J. W. Mayer and S. T. Picraux : “Materials Analysis by Ion Channeling” (Academic Press, New York, 1982).
4) J. F. van der Veen : Surf. Sci. Rep. 5, 199 (1985).
8) E. J. van Loenen, J. F. van der Veen and F. G. LeGoues : Surf. Sci. 157, 1 (1985).
10) J. Vrijmoeth, P. M. Zagwijn, J. W. M. Frenken and J. F. van der Veen : Phys. Rev. Letters 67, 1134 (1991).
11) J. Vrijmoeth, S. Zaima, E. Vlieg and J. W. M. Frenken : Phys. Rev. B 45, 6700 (1992).
12) T. Yasue, C. Park, T. Koshikawa and Y. Kido : Appl. Surf. Sci. 70/71, 428 (1993).
13) T. Koshikawa, T. Yasue, H. Tanaka, I. Sumita and Y. Kido : Proc. of Symp, on Surf. Sci. (Kitzsteinhorn, 1993) p. 77.
14) T. Yasue, T. Koshikawa, H. Tanaka and I. Sumita : Surf. Sci. 287/288, 1025 (1993).
15) J. F. Ziegler : “Helium Stopping Powers and Ranges in All Elecments” (Pergamon Press, 1977).
16) E. J. van Loenen, M. Iwami, R. M. Tromp and J. F. van der Veen : Surf. Sci. 137, 1 (1984).
17) E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan and J. M. Layet : Surf. Sci. 154, 267 (1985).
18) H. Kemmann, F. Müller and H. Neddermeyer : Surf. Sci. 192, 11 (1987).
20) A. Kinomura, M. Takai, K. Matsumoto, S. Namba and T. Agawa : Nucl. Instrum. Methods B64, 576 (1992).
21) T. Koshikawa, H. Nakamura, T. Uchiyama, T. Katayama, K. Takagi, H. Yamakawa, S. Matsuura and E. Inuzuka : Vacuum 41, 1791 (1990).
22) R. M. Tromp, M. Copel, M. C. Reuter, M. Horn von Hoegen, J. Speidell and R. Koudijs : Rev. Sci. Instr. 62, 2679 (1991).
23) J. Falta, R. M. Tromp, M. Copel, G. D. Pettit and P. D. Kirschner : Phys. Rev. Letters 69, 3068 (1992).

Right : 1) W. K. Chu, J. W. Mayer and M. A. Nicolet : “Backscattering Spectroscopy” (Academic Press, New York, 1978).
2) L. C. Feldman, J. W. Mayer and S. T. Picraux : “Materials Analysis by Ion Channeling” (Academic Press, New York, 1982).
4) J. F. van der Veen : Surf. Sci. Rep. 5, 199 (1985).
8) E. J. van Loenen, J. F. van der Veen and F. G. LeGoues : Surf. Sci. 157, 1 (1985).
10) J. Vrijmoeth, P. M. Zagwijn, J. W. M. Frenken and J. F. van der Veen : Phys. Rev. Letters 67, 1134 (1991).
11) J. Vrijmoeth, S. Zaima, E. Vlieg and J. W. M. Frenken : Phys. Rev. B 45, 6700 (1992).
12) T. Yasue, C. Park, T. Koshikawa and Y. Kido : Appl. Surf. Sci. 70/71, 428 (1993).
13) T. Koshikawa, T. Yasue, H. Tanaka, I. Sumita and Y. Kido : Proc. of Symp, on Surf. Sci. (Kitzsteinhorn, 1993) p. 77.
14) T. Yasue, T. Koshikawa, H. Tanaka and I. Sumita : Surf. Sci. 287/288, 1025 (1993).
15) J. F. Ziegler : “Helium Stopping Powers and Ranges in All Elecments” (Pergamon Press, 1977).
16) E. J. van Loenen, M. Iwami, R. M. Tromp and J. F. van der Veen : Surf. Sci. 137, 1 (1984).
17) E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan and J. M. Layet : Surf. Sci. 154, 267 (1985).
18) H. Kemmann, F. Müller and H. Neddermeyer : Surf. Sci. 192, 11 (1987).
20) A. Kinomura, M. Takai, K. Matsumoto, S. Namba and T. Agawa : Nucl. Instrum. Methods B64, 576 (1992).
21) T. Koshikawa, H. Nakamura, T. Uchiyama, T. Katayama, K. Takagi, H. Yamakawa, S. Matsuura and E. Inuzuka : Vacuum 41, 1791 (1990).
22) R. M. Tromp, M. Copel, M. C. Reuter, M. Horn von Hoegen, J. Speidell and R. Koudijs : Rev. Sci. Instr. 62, 2679 (1991).
23) J. Falta, R. M. Tromp, M. Copel, G. D. Pettit and P. D. Kirschner : Phys. Rev. Letters 69, 3068 (1992).

抄録

中エネルギーイオン散乱法(MEIS)は非破壊かつ深さ方向に高分解能で構造解析や濃度測定が可能であるため表面や界面の研究にとって非常に有力な測定法として認められている。最近では,1原子層オーダーの深さ方向分解能での測定も可能になってきた。ここでは,シリコン上に金属薄膜を成長させたいくつかの実験例を示し,MEISを用いた研究の一端とその動向につき解説を行う。

責任著者(Corresponding author)

訂正情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）