大阪大学工学部
1993 年 14 巻 7 号 p. 417-422
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高エネルギー弾性反跳粒子検出法による表面吸着水素の定量に,低エネルギー弾性反跳イオン分光法が新たに加わり,これまで実験的に測定が困難であったSi表面水素の吸着構造に関する情報が得られることを不した。
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