CAICISSによる表面構造モニターとそれによる膜成長コントロール
1993 年 14 巻 7 号 p. 423-428
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1993 年 14 巻 7 号 p. 423-428
同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は,膜成長などにおいて動的に変化しつつある表面の組成や構造をリアルタイムで時間分解して解析するのにきわめて適している。この特徴を利用して,CAICISSによって膜成長をリアルタイムで観察しながら,そのモニターされた情報をMBEシステムにフィードバックすることにより,膜成長しつつある表面の組成や構造をコントロールする新しい膜成長自動制御装置を開発した。本稿では,この“CAICISSモニター膜成長自動制御装置”の動作原理と特徴およびこの装置を用いて行ったいくつかの応用例を紹介する。
