炭素の新形態であるC₆₀分子を中心に薄膜形成に関する現在の状況とその物性を概説する。C₆₀は基本的にはファンデアワールス結晶であるが,C₆₀分子間の相互作用は他のファンデアワールス結晶と比べると比較的強い。この分子のエピタキシャル成長は基板の種類および蒸着条件に大きく依存している。種々の基板に対するエピタキシャル特性を議論する。