東京農工大学工学部
1993 年 14 巻 2 号 p. 85-89
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HF水溶液中で単結晶シリコンを陽極酸化処理したときに形成されるポーラスシリコン(PS)の可視発光について,研究の現状を報告する。まず,PSの発光特性を基礎物性と関連させながら整理し,つぎに表面電子構造と発光との密接な関係を裏づける最近の実験結果を紹介する。以上を総合して,PSの可視発光が効率よく発現するためには,シリコンクリスタリットへのキャリア閉じ込めと表面パッシベーションが相補的に作用し合うことが重要であることを示す。
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