表面科学
Online ISSN : 1881-4743
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Cu空洞コーティング用Nbスパッタ法の開発
浅野 清光Gerald ENDERLEINDieter PROCH
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1994 年 15 巻 3 号 p. 181-183

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抄録

We have developed a DC magnetron sputtering apparatus for the coating of Nb films on the inner surfaces of a 500 MHz Cu cavity. Q0 values at 4.2 K by pipe cooling have been determined in order to optimize the various coating processes. The Nb films can be sputtered successively after sputter-cleaning the inner surfaces of the cavity by switching the polarity of the DC power supply operated at a constant power.

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