東北大学金属材料研究所
1995 年 16 巻 2 号 p. 127-134
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近年,飛行時間型アトムプローブに位置敏感型検出器をとりつけることにより,個々の原子の種類と存在位置を3次元実格子空間に表示することができる3次元アトムプローブが開発され,材料の超局所解析手法としての応用が注目されている。本稿ではこのような最近のアトムプローブの動向を概観し,Co-Cr磁性薄膜の超微細組織解析への応用例を紹介する。
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