マスケミカルの工場における実務的な表面分析の一例として,固体製品中のミクロンオーダーの異物分析を,概説的に紹介した。汚染防止に配慮した試料の前処理(溶解,濾過,蒸着),自動分析が可能となったSEM-EDSの利用,金蒸着した濾紙を用いた顕微反射IR法による有機異物の測定,XPSの微細異物解析への適用について解説し,SEM-EDXおよびIRの分析データと異物厚さの関係に関して検討した結果も述べた。