Internal and Translational Energy Distributions of CuF Produced in the Etching Reaction of Cupper Surfaces with Fluorine

Ko-ichi SUGAWARA

doi:10.1380/jsssj.16.564

高分解能レーザー分光法によるエッチング反応の研究

フッ素と銅表面の反応により生成するCuFの振動回転並進エネルギー分布

菅原孝一

著者情報

ジャーナルフリー

1995 年 16 巻 9 号 p. 564-570

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.16.564

詳細

発行日: 1995/09/10 受付日: 1995/04/12 J-STAGE公開日: 2009/08/07 受理日: 1995/04/12 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/08/07 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: Wrong : 3) H. Zacharias : Int. J. Mod. Phys. B 4, 45 (1990).
4) D. C. Jacobs, K. W. Kolasinski, S. F. Shane and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 91, 3182 (1989).
5) D. S. Y. Hsu and M. C. Lin : J. Chem. Phys. 88, 432 (1988).
6) L. Schröter, R. David and H. Zacharias : Surf. Sci. 258, 259 (1991).
7) W. Brenig, H. Kasai and H. Müller : Surf. Sci. 161, 608 (1985).
8) C. W. Muhlhausen, L. R. Williams and J. C. Tully : J. Chem. Phys. 83, 2594 (1985).
9) C. Haug and W. Brenig : Surf. Sci. 262, 271 (1992).
10) G. D. Kubiak, G. O. Sitz and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 83, 2538 (1985).
11) W. Brenig, S. Küchenhoff and H. Kasai : Appl. Phys. A 51, 115 (1990).
12) S. Küchenhoff, W. Brenig and Y. Chiba : Surf. Sci. 245, 389 (1991).
13) G. Anger, A. Winkler and K. D. Rendulic : Surf. Sci. 220, 1 (1989).
14) H. F. Berger, M. Leisch, A. Winkler and K. D. Rendulic : Chem. Phys. Lett. 175, 425 (1990).
15) D. J. Auerbach, C. T. Rettner and H. A. Michelsen : Surf. Sci. 283, 1 (1993).
16) A. Bracker, P. Jakob, U. Näher, M. Rüdiger, K. Sugawara and J. Wanner : Can. J. Chem. 72, 643 (1994).
17) K. Sugawara, Th. Wach, J. Wanner and P. Jakob : J. Chem. Phys. 102, 544 (1995).
18) K. G. Nakamura, H. Kuroki and M. Kitajima J. Appl. Phys. 75, 4261 (1994).
19) K. G. Nakamura and M. Kitajima : Appl. Phys. Lett. 65, 2445 (1994).
20) J. M. Parson and C. C. Fang : J. Chem. Phys. 92, 4823 (1990).
21) P. Baltayan, F. Hartman, I. Hikmet and N. Sadeghi : J. Chem. Phys. 97, 5417 (1992).
22) X. R. Chen, K. Wagemann, J. Wanner, W. Brenig and S. Küchenhoff : Surf. Sci. 224, 570 (1989).
23) F. Ahmed, R. F. Barrow, H. Chojnicki, C. Dufour and J. Schamps J. Phys. B 15, 3801 (1982).
24) P. Jakob, K. Sugawara and J. Wanner : J. Mol. Spectrosc. 160, 596 (1993).
25) P. Jakob, K. Sugawara, J. Wanner, A. Bath and E. Tiemann : Can. J. Phys. 72, 1087 (1994).
26) J. Schamps, J. M. Delaval and O. Faucher : Chem. Phys. 145, 101 (1990).
27) G. Herzberg “Molecular Spectra and Molecular Structure. I. Spectra of Diatomic Molecules” (Krieger, Florida, 1989).
28) R. W. Schwenz and J. M. Parson : J. Chem. Phys. 73, 259 (1980).
29) N. Billy, B. Girard, G. Gouédard and J. Vigué Mol. Phys. 61, 65 (1987).
30) H. F. Winters : J. Vac. Sci. Technol. B 3, 9 (1985) ; J. Vac. Sci. Technol. A 3, 786 (1985).
31) J. C. Tully : “Kinetics of Interface Reactions” (ed. by M. Grunze and H. J. Kreuzer, Springer, Berlin, 1987) p. 37.

Right : 3) H. Zacharias : Int. J. Mod. Phys. B 4, 45 (1990).
4) D. C. Jacobs, K. W. Kolasinski, S. F. Shane and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 91, 3182 (1989).
5) D. S. Y. Hsu and M. C. Lin : J. Chem. Phys. 88, 432 (1988).
6) L. Schröter, R. David and H. Zacharias : Surf. Sci. 258, 259 (1991).
7) W. Brenig, H. Kasai and H. Müller : Surf. Sci. 161, 608 (1985).
8) C. W. Muhlhausen, L. R. Williams and J. C. Tully : J. Chem. Phys. 83, 2594 (1985).
9) C. Haug and W. Brenig : Surf. Sci. 262, 271 (1992).
10) G. D. Kubiak, G. O. Sitz and R. N. Zare : J. Chem. Phys. 83, 2538 (1985).
11) W. Brenig, S. Küchenhoff and H. Kasai : Appl. Phys. A 51, 115 (1990).
12) S. Küchenhoff, W. Brenig and Y. Chiba : Surf. Sci. 245, 389 (1991).
13) G. Anger, A. Winkler and K. D. Rendulic : Surf. Sci. 220, 1 (1989).
14) H. F. Berger, M. Leisch, A. Winkler and K. D. Rendulic : Chem. Phys. Lett. 175, 425 (1990).
15) D. J. Auerbach, C. T. Rettner and H. A. Michelsen : Surf. Sci. 283, 1 (1993).
16) A. Bracker, P. Jakob, U. Näher, M. Rüdiger, K. Sugawara and J. Wanner : Can. J. Chem. 72, 643 (1994).
17) K. Sugawara, Th. Wach, J. Wanner and P. Jakob : J. Chem. Phys. 102, 544 (1995).
18) K. G. Nakamura, H. Kuroki and M. Kitajima J. Appl. Phys. 75, 4261 (1994).
19) K. G. Nakamura and M. Kitajima : Appl. Phys. Lett. 65, 2445 (1994).
20) J. M. Parson and C. C. Fang : J. Chem. Phys. 92, 4823 (1990).
21) P. Baltayan, F. Hartman, I. Hikmet and N. Sadeghi : J. Chem. Phys. 97, 5417 (1992).
22) X. R. Chen, K. Wagemann, J. Wanner, W. Brenig and S. Küchenhoff : Surf. Sci. 224, 570 (1989).
23) F. Ahmed, R. F. Barrow, H. Chojnicki, C. Dufour and J. Schamps J. Phys. B 15, 3801 (1982).
24) P. Jakob, K. Sugawara and J. Wanner : J. Mol. Spectrosc. 160, 596 (1993).
25) P. Jakob, K. Sugawara, J. Wanner, A. Bath and E. Tiemann : Can. J. Phys. 72, 1087 (1994).
26) J. Schamps, J. M. Delaval and O. Faucher : Chem. Phys. 145, 101 (1990).
27) G. Herzberg “Molecular Spectra and Molecular Structure. I. Spectra of Diatomic Molecules” (Krieger, Florida, 1989).
28) R. W. Schwenz and J. M. Parson : J. Chem. Phys. 73, 259 (1980).
29) N. Billy, B. Girard, G. Gouédard and J. Vigué Mol. Phys. 61, 65 (1987).
30) H. F. Winters : J. Vac. Sci. Technol. B 3, 9 (1985) ; J. Vac. Sci. Technol. A 3, 786 (1985).
31) J. C. Tully : “Kinetics of Interface Reactions” (ed. by M. Grunze and H. J. Kreuzer, Springer, Berlin, 1987) p. 37.

抄録

波長分解能の高いレーザー分光法は,気相中の自由分子を状態選択的に検出できることから,分子の構造や気相化学反応の動力学の研究に広く用いられている。この手法は表面に束縛された分子の検出には適さないが,表面化学反応の最終過程である生成物の脱離過程を取り扱うには有力である。脱離直後の分子のエネルギー状態が観測できるため,分子と固体表面との間にどのような相互作用があるのか,あるいは脱離に際してどのような動力学が働くのか知ることができる。本稿では,この観点からはほとんど調べられていないエッチング反応における分子脱離を取り上げる。筆者らは高分解能レーザー分光法を用いてフッ素と銅表面との反応において脱離するCuF分子の状態選択的な検出を行った。反応出口の情報である脱離分子の振動回転並進エネルギー分布は,フッ素分子線の並進エネルギーや流量,フッ素源の違い,銅表面の温度,銅表面の種類など,反応入口の条件にどのように依存するのか,またその結果からどのような分子表面相互作用が考えられるのかについて述べる。

責任著者(Corresponding author)

訂正情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）