魔鏡:おどろおどうしい響きがあり,とても現在のハイテクに関与する技術とは思えない。しかし,現実にはシリコンウエハを初め,コンピューター用のハードディスクや液晶用のガラス基板などの超鏡面の評価には不可欠の重要技術であり,世界のハイテクに貢献している。Makyohとして,世界に広く知られ,すでに多方面の鏡面評価に活用されている。わずか5nmの高低差の緩やかな凹凸を有する鏡面全面の評価には本方法しかない。本稿ではこのような魔鏡技術の発展について,特に超LSIの発展やSiウエハの大口径化・高品質化での貢献を中心に記述する。