表面科学
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CVD法によるグラファイト薄膜とカーボンナノチューブの作製
湯田坂 雅子菊地 理恵
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1996 年 17 巻 4 号 p. 208-213

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抄録

 グラファイト薄膜とグラファイトが円筒となったカーボンナノチューブの作製法は似ていることが予想されたので, その作製法について比較した。気相化学蒸着 (CVD) 法によりグラファイト薄膜を1000℃以下で作製することを試みた結果, Ni板または厚さ100nm以上のNi薄膜を基板として用いるとグラファイト薄膜が600℃以上で得られることがわかった。カーボンナノチューブは厚さ5nmのNi薄膜を石英ガラス基板上に蒸着したものを基板として用いて, 700℃でCVDを行うと得られることがわかった。カーボンナノチューブが得られる温度とNiの厚みが狭い範囲に限られていることからカーボンナノチューブの核形成について考察をすることができた。

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© 社団法人 日本表面科学会
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