TOF-SIMSは固体極表面の微小な領域について,高感度に化学状態分析を行える優れた表面分析法である。しかし,その実用材料への応用は未だ十分になされているとは言いがたい状況である。本稿では,現在までに行われた化学分野で取り扱う材料,特に有機材料へのTOF-SIMSの応用例からTOF-SIMSのもつ分析法としてのポテンシャルを示し,現在抱える問題点や将来目指すべき方向について解説した。