表面科学
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電界放射の研究動向とその応用
安達 洋
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1996 年 17 巻 12 号 p. 712-717

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抄録

電界放射現象は,真空中で発生する基本現象の一つである。電界放射顕微鏡(FEM)は,構造が簡単で容易に製作できることから,表面研究の草分けの時代には大々的に用いられ,その研究が表面物性の研究をおおいに発展させた。その成果が電界放射陰極の実用化になって現れ,電子線干渉現象を実用の段階にまで高めた。半導体の微細加工技術との組み合わせで,この世に出てきた電界放射陰極列(FEA)は,まだ,野のものとも山のものともわからないが,研究が急速に進んでいる。本稿では,表面物性の見方からすこし離れて,放射電子を利用する電子放射源の立場から,研究の流れを追ってみた。

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© 社団法人 日本表面科学会
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