表面科学
Online ISSN : 1881-4743
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半導体結晶成長における自己集合化と自己組織化
GaAs(311)面上のInGaAsナノ構造形成
天明 二郎玉村 敏昭
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1998 年 19 巻 9 号 p. 546-550

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抄録

This paper reviews the present status of self processes for semiconductor nanostructures. The term “self-process” includes the concepts of self-assembly and self-organization, which is clearly distinguished following Lehn's definition. We describe self-assembled InAs islands grown on a GaAs(100) surface and self-organized InGaAs disks grown on a GaAs(311)B surface. We touch on the future aspects of a novel role for nanostructures via semiconductor selfprocesses.

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