表面科学
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GaAsの分子線成長における三次元成長の開始過程の走査電子顕微鏡その場観察
棚橋 克人河村 裕一井上 直久本間 芳和
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1998 年 19 巻 11 号 p. 747-751

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抄録

Surface roughening processes in the molecular beam epitaxy of GaAs are studied by in-situ scanning electron micros-copy. Three types of onset of roughening are observed, that is, smooth-to-rough change, coexistence of rough and smooth growths and purely rough growth. The results are compared to the quasi-smooth growth and to the growth of silicon on (111) surface, and the roughening mechanism is discussed.

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© 社団法人 日本表面科学会
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